搜索

主營產品：

真空泵維修、干式真空泵維修、進口真空泵維修、愛德華真空泵、Edwards真空泵、Stokes真空泵、意大利D.V.P.真空泵、旋片真空泵維修、滑閥式真空泵維修、螺桿真空泵維修、漢鐘真空泵、愛德華真空油、Fomblin真空油、Leybold真空泵維修、萊寶真空泵、真空配件、真空腔體、真空系統

文章詳情

什么是LPCVD？

日期：2022-11-06 14:05

瀏覽次數：1427

摘要：

LPCVD--Low Pressure Chemical Vapor Deposition 低壓力化學氣相沉積法用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉積,過程在管爐中執行，要求也相當高的溫度。

下一篇：什么是PECVD？
上一篇：什么是CVD？

滬公網安備 31011702004252號

什么是LPCVD？