1. 產品詳情
      • 產品名稱:iH600 愛德華真空泵維修

      • 產品型號:iH600
      • 產品廠商:其它品牌
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      iH600 愛德華真空泵維修 Edwards真空泵修理 晶圓廠真空泵維修保養 iH600保養維修 iH600真空泵配件供應
      詳情介紹:

      Edwards iH 干泵為高難度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品)提供高度、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵,使用的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和封閉的水冷卻電機。

      Edwards 級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的性和性能。
       
      iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。

      功能和優勢

      優化了設施消耗。
      無需預防性維護。
      懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
      在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
      耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
      較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
      整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

      應用

      負載鎖
      輸送
      計量
      平版印刷
      PVD 制程
      PVD 預清潔
      RTA
      剝離/灰化
      刻蝕
      植入源
      HDP CVD
      RTP
      SACVD
      MCVD
      PECVD
      LPCVD
      ALD

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