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產品詳情
簡單介紹：
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詳情介紹：
Edwards iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品）提供高度、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級主泵，使用的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和封閉的水冷卻電機。
Edwards 級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的性和性能。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高性。
功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
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